介绍了一种基于光纤微加工的氢气传感技术方案。利用波长为800 nm的飞秒激光脉冲在普通单模光纤上加工马赫曾德尔（M-Z）干涉腔，并采用磁控溅射方法在加工后的M-Z干涉微腔上溅射钯（Pd）膜，制备了一种新型的光纤氢气传感器。分析了加工工艺对微腔干涉效果的影响，选择合适的加工参数以及加工后对微腔进行后续处理，可使微腔的透射光谱的分辨率得到提高。实验研究了腔长为40 μm的M-Z干涉传感器分别镀36 nm、110 nm Pd膜后，对氢气的响应。结果表明，在不同的氢气浓度下，镀Pd膜的M-Z干涉传感器都