设计并演示了一种光机械设备，该设备包含纳米机械谐振器，该谐振器具有6.42 fg的超低有效质量。 飞克级纳米机械谐振器嵌入在双缝光子晶体纳米束腔中。 光学共振可有效读取纳米机械共振器的运动。 所制造的装置在大气中具有光学和机械特征。 在测得的射频功率谱密度中，将3.928 GHz处的峰鉴定为有效质量为6.42 fg的机械模式。测得的室温机械Q因子为1255，位移灵敏度为获得0.13 fm / ffiffiffiffiffi.pHz，它是标准量子极限的22倍。 这些演示的片上集成光机械器件结合了高