MEMS是什么呢？MEMS（Micro Electro Mechanical systems，微电子机械系统）是建立在微米/纳米技术基础上的前沿技术，其是一种可对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一整体单元的微型系统。

微型陀螺仪操作的核心概念是检测弱的科里奥利力。 我们详细描述了基于纳米光栅检测的光学微陀螺仪的工作原理。 双层反射金属纳米光栅用于检测作用在陀螺仪上的科里奥利力。 为了分析其结构灵敏度，配置了陀螺仪的仿真模型，结果表明该结构实现了良好的模态匹配，并且结构灵敏度为6.402 nm /°/ s。 此外，在光学仿真中对纳米光栅的结构进行了分析，并对几个结构参数进行了公差分析，以洞悉实现实际的器件。 最后，在SIMULINK环境中实现了陀螺仪系统的模型。 使用从计算中获得的参数值，对纳米光栅陀螺仪的仿真

谐振式微型光学陀螺(RMOG)是利用光学萨格纳克(Sagnac)效应产生的谐振频率差来测量旋转角速度的一种新型光学传感器,光波导环形谐振腔是谐振式微型光学陀螺的核心敏感部件。利用谐振腔内单点反射简化处理,结合多光束干涉叠加原理,得出了谐振腔背向散射输出谱线的表达式。在此基础上,利用激光器输出光频率进行扫描,对研制的保偏二氧化硅光波导环形谐振腔芯片进行了谐振曲线和背向散射谱的测试,得到了描述谐振腔背向散射特性的背向散射系数,实际测试曲线和理论仿真曲线吻合较好。

根据价值358000美元的合同,诺思罗普公司的精密产品部将为陆军导弹司令部研制一种微型光学陀螺。该装置有某些环形激光陀螺的特性,也带有一些类似于光纤陀螺的特性，只是它使用一圆形光波导代替光纤线圈,以便作相反旋转的激光束循环。诺思罗普公司的称之为无源环形共振器陀螺的装置最终可望提供0.05~5度/小时级的漂移速率。美国空军佛罗里达埃格林基地武器实验室也正为诺思罗普公司提供资金，以支持他们把该装置用于短程战术导弹的工作。

MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。