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  1. 电子测量中的质谱仪的分类

  2. 质谱仪种类非常多，工作原理和应用范围也有很大的不同。从应用角度，质谱仪可以分为下面几类： 　　有机质谱仪： 　　由于应用特点不同又分为： 　　①气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）。在这类仪器中，由于质谱仪工作原理不同，又有气相色谱-四极质谱仪，气相色谱-飞行时间质谱仪，气相色谱-离子阱质谱仪等。 　　②液相色谱-质谱联用仪（LC-MS）。同样，有液相色谱-四极质谱仪，液相色谱-离子阱质谱仪，液相色谱-飞行时间质谱仪，以及各种各样的液相色谱-质谱-质谱联用仪。 　　③其他有机质谱仪，主要

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-05
    • 文件大小：47kb
    • 提供者：weixin_38734276

  1. 电子测量中的SIMS测量激光诱导扩散Zn的浓度分布

  2. （中国电子科技大学光电信息学院，成都 610054）摘 要：通过SIMS对激光诱导扩散杂质浓度分布的研究，提出了一个测量扩散区只在mm量级或10mm量级范围内的杂质浓度分布的方法。首先利用光刻的方法在基片表面标识出扩散窗口，然后进行激光诱导处理。用SIMS对制成的扩散样品定量分析，通过扫描探针显微镜测量刻蚀深度，由此实现了微小扩散区掺杂浓度-深度分布的研究。关键词：激光诱导扩散，微小扩散区，二次离子质谱仪 中图分类号：TN304.07 文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2005)07

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-10
    • 文件大小：101kb
    • 提供者：weixin_38634037

  1. 用固态杂质源在GaAs衬底上实现的连续波CO

  2. 用含Zn的固态杂质源,在化合物半导体GaAs基片上进行了连续波(CW)10.6 μm激光诱导扩散,做出了P-N结。分别利用扫描电子显微镜和二次离子质谱仪对扩散样品进行扩散区形貌分析和杂质分布研究,给出了结深xj、杂质浓度分布C(x,t,T)等性能参数和扩散时间t、温度T等工艺参数之间的关系,获得了亚微米的扩散结结深及10 20 cm -3量级的表面掺杂浓度。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：982kb
    • 提供者：weixin_38717171

  1. GaAs衬底的固态杂质源脉冲1.06 μm激光诱导扩散

  2. 利用1.06 μm脉冲Nd:YAG激光,以含Zn的固态杂质源在化合物半导体GaAs基片上进行诱导扩散,作出了P-N结。获得了亚微米的扩散结结深及1020 cm-3量级的表面掺杂浓度,并利用二次离子质谱仪对扩散样品进行成分的逐层扫描分析,研究了结深和掺杂浓度与辐照激光脉冲数、单脉冲激光能量密度的关系。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：871kb
    • 提供者：weixin_38545961

  1. 激光离子质谱仪

  2. 英国已设计成能在100微米内以百万分之几的灵敏度分析包括氢在内的各种元素的激光微探针质谱仪，并对其进行了试验。剑桥顾问公司为一家顾客建造了这台仪器，用以测定在铀块与钢样品中低原子序数的元素的局部分布。在这些材料中，轻元素会在焊区这类灵敏区内造成后期机械故障。测出这种大块材料微米尺寸区域内氢的分布特别重要，因为氢含量与由这些材料制成的组件微结构中气泡和针孔等缺陷有关。由于传统分析技术对轻元素一般不灵敏，需要釆用特殊的技术。

  3. 所属分类：其它

  1. LIMA——激光显微眼

  2. 人们对激光探针显微分析技术正表现出极大的兴趣，这种技术能够在超髙真空条件下分析厚及薄的两类样品。称为激光感生离子质谱仪(LIMA)的系统，最初是由原子武器研究机构，即奥德马斯顿和剑桥顾问团科学家之间合作研制的。原子武器研究机构特有的原始LIMA,在奥德马斯顿已获得了有意义的结果。剑桥质谱技术的进一步发展导致了LIMA2A,据说它是世界第一个商品仪器型号。

  3. 所属分类：其它

  1. 质谱仪的分类

  2. 质谱仪种类非常多，工作原理和应用范围也有很大的不同。从应用角度，质谱仪可以分为下面几类： 　　有机质谱仪： 　　由于应用特点不同又分为： 　　①气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）。在这类仪器中，由于质谱仪工作原理不同，又有气相色谱-四极质谱仪，气相色谱-飞行时间质谱仪，气相色谱-离子阱质谱仪等。 　　②液相色谱-质谱联用仪（LC-MS）。同样，有液相色谱-四极质谱仪，液相色谱-离子阱质谱仪，液相色谱-飞行时间质谱仪，以及各种各样的液相色谱-质谱-质谱联用仪。 　　③其他有机质谱仪，主要

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：46kb
    • 提供者：weixin_38678510