在这项研究中，Al-N共掺杂型氧化锌（ZnO）薄膜在N2和O2气体与陶瓷ZnO：（2 wt％Al2O3）的溅射靶中使用DC-沉积在Si和均质缓冲层模板上磁控溅射。 双θ衍射的X射线衍射光谱表明，所有膜均具有ZnO纤锌矿结构的主要（002）峰。 随着N2和O2混合气体中N2含量的增加，场发射二次电子显微镜显示出Si上共掺杂膜的表面外观从光滑结构到纹理结构变化。 所述p型ZnO薄膜显示该rangeof载流子浓度1.5×10 15 -2.93×10 17 cm -3时，resistivityin的13