铝从蓝宝石衬底扩散到高温制备的MgxZn1-xO合金薄膜已经通过二次离子质谱法进行了研究。在MgxZn1-xO薄膜表面检测到的Al杂质浓度高于1019 cm-3。电学性能测量表明，MgxZn1-xO薄膜的载流子浓度随着Mg含量的增加而显着降低，从ZnO的〜1018 cm-3到Mg016Zn084O合金的〜1015 cm-3。与温度有关的光致发光表明，Mg016Zn084O中的铝杂质比锌氧化物中的杂质更深。此外，第一性原理计算表明电离MgxZn1-xO合金中Al取代阳离子位点（AlCA）的能量随M