系统内可按不同工艺编制贮存各种清洗工艺程序，常用工艺是：FSI“A”工艺： SPM+APM+DHF+HPMFSI“B”工艺： SPM+DHF+APM+HPMFSI“C”工艺： DHF+APM+HPMRCA工艺： APM+HPMSPM .Only工艺： SPMPiranha HF工艺： SPM+HF上述工艺程序中：SPM=H2SO4+H2O2 4：1 去有机杂质沾污DHF=HF+D1.H2O (1-2%) 去原生氧化物，金属沾污APM=NH4OH+ H2O2+D1.H2O 1：1：5或 0.5：1